12月30日，首芯半导体成功交付首台12寸Dubhe系列等离子体增强型设备，标志其在高端半导体装备制造领域取得重要突破★■。该设备支持无定形碳硬掩膜先进工艺，对半导体器件的可靠性及质量至关重要。Dubhe系列设备具有高效率和宽工艺调节窗口等优点★◆★★，可广泛应用于多个芯片制造领域◆★■◆。

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